簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="原子力顯微鏡"


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    原子力量測於化學機械拋光之磨料作用力分析研究
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 黃國維 指導教授: 陳炤彰
    • 在半導體元件製程應用上,化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)為其重要製程之一,它透過研磨墊、漿粒、晶圓三者間彼此交互作用,使晶圓達到平坦化之效果以利後…
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